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AIM冷陰極真空計

Edwards AIM倒磁控管冷陰極真空計,在一個緊湊的裝置中包含規頭和控制器。從科學儀器到工業制程的多種應用場合,均已證明AIM真空計堅固可靠。標準AIM真空計具有線性輸出,nAIM支持RS232和RS485信號輸出,易于與計算機或 PLC 結合使用。

特點

電子模塊與規頭合并在一起,降低了系統成本并節省了寶貴的機架空間

低輸出阻抗和集成的法拉第屏蔽提供高級別的抗擾性,并允許使用長電纜(最長可達 100 m)

低磁場型 XL 適用于敏感性應用,例如質譜分析和電子顯微鏡。

可更換的管體允許快速更換管件而無需預校準

已獲 CSA C/US 認證

范圍廣泛、符合標準的內部電源可使用 +13.5 到 +36 V 的標準直流電,對電壓波動有很好的承受力

0 到 +10 V 直流電壓的標準模擬輸出和真空計標識符允許輕松連接計算機或 PLC 和進行故障輸出指示

nAIM支持串口信號輸出:RS232/RS485

電極維修套件允許用戶進行清潔和維護

獨特的放電器設計確保即使在高真空或污染環境下也可以快速放電

寬廣的壓力范圍

應用

適用于處于 1 x 10-2 to 1 x 10-9 mbar 范圍內的所有需要可靠穩定的壓力指示的真空應用。

典型制程包括:

一般真空到工業鍍膜機

真空爐

科學儀器

半導體等各種應用。

技術規格

壓力范圍


AIM-X

10-2 至 10-9 mbar

準確度*

通常為 ±30%

最大過壓

10 bar 絕對 (145 psi)

電源供給

+13.5 至 +36 V 直流(最大 1 V 波動)

功耗

2 W(最大)

輸出信號(AIM)

2 至 10 V 直流

輸出信號(nAIM)RS232或RS485

設定點

開路集電極晶體管

最大電壓

40 V 直流

電流

100 mA(最大)

溫度范圍


工作

+5 至 +60°C

存儲

0 至 +70 °C

暴露于真空中的材料

 

NW25 型

不銹鋼 304/306/347、氟橡膠、玻璃

內部體積

26 cm3

重量

0.81 kg

外部接口連接器

FCC68/RJ45 插座,D-sub 9針接口

真空接頭

NW25

標準

 

電磁兼容性

EN 61326


(B 類排放)

外殼等級

IP40

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