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BAG402熱電離真空計

INFICON Bayard-Alpert 熱電離真空計 BAG402 涵蓋從 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar(3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr)的廣泛測量范圍。選擇 INFICON BAG402 緊湊型主動真空計套裝,在低成本、可重復的工藝過程中進行基礎壓力測量。獨特的雙絲極結構提供更優異的精度、長期穩定性和長使用壽命。

特點

測量范圍從 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar(3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr)

在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工藝壓力范圍內為表現出優秀的重復性

超壓檢測保護絲極,防止過早燒毀

雙長使用壽命氧化釔銥絲

自動發射電流選擇降低了控制復雜性

傳感元件帶有板載校準數據,易于更換,可保證高再現性

符合 RoHS 標準

應用

對半導體過程和傳輸腔室的壓力測量

工業鍍膜

低真空至超高真空范圍內的一般真空測量和控制

訂購資料

零件號描述
353-600BAG402 DSUB9 KF25
353-601BAG402 DSUB9 CF40
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