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BPG402-S皮拉尼電離復合真空計

INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼復合真空計 BPG402-S 將 Bayard-Alpert 和皮拉尼兩種真空計的功能融合入單個緊湊型裝置中,測量范圍為 5×10-10 mbar至大氣壓(3.8×10-10 Torr 至大氣壓)。多項技術相結合降低了安裝、設置和集成的復雜性。為負擔不重且可重復的過程選擇帶有雙氧化釔銥絲的 BPG402-S,以經濟高效的方式執行基本壓力測量。傳感元件帶有板載校準數據,保證更換傳感器時的高再現性。

特點

從 5 x 10-10 mbar 至大氣氣壓(3.8 x 10-10 Torr 至大氣氣壓)的極其寬泛的測量范圍

在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工藝壓力范圍內為表現出優秀的重復性

皮拉尼聯鎖保護絲極,防止過早燒毀

雙長使用壽命氧化釔銥絲

備有可選的圖形顯示器和現場總線接口

高真空皮拉尼自動調節,減少操作員的干預

傳感元件帶有板載校準數據,易于更換,可保證高再現性

符合 RoHS 標準

應用

對半導體過程和傳輸腔室的壓力測量

工業鍍膜

低真空至超高真空范圍內的一般真空測量和控制

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