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低壓式大流量質量流量控制器

CAF-150質量流量控制器,體積緊湊,可以低壓下控制大流量,產品同時支持傳統模擬量和RS485數字信號,滿足大部分氣體控制的通用需求。

特點

體積緊湊,便于安裝

可以低壓下控制大流量,流量范圍從100L/min到3000L/min

直洞式設計,響應速度更快

自帶過濾器適用于潔凈制程

比例活塞閥及薄膜閥,耐久性強

技術規格

型號CAF-145CAF-150CAF-155
流量范圍(N2基準)100slm~500slm500slm~2000slm2000slm~3000slm
流量控制范圍
2 ~ 100%滿量程
精度≤±2%滿量程≤±2.5%滿量程
響應速度≤1.2秒≤1.8秒
重復性
≤0.2%滿量程
閥門類型常閉閥
密封種類Vtion,Vtion-ETP,Kalrez等等
電氣連接及信號9針D-Sub公頭
模擬:0-5VDC或4-20mA
數字:RS485
電源+15VDC~+24VDC
操作溫度操作溫度:5-50℃(推薦15~35℃)
預熱時間15分鐘(準確度保證:30分鐘)
法蘭連接1/8"~1/2"LOK或VCR(根據型號)
重量7Kg10Kg14Kg

產品尺寸


質量流量控制器訂購參數確認單


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