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機械增壓泵

EH250

EH500

EH1200

EH2600

EH4200

Edwards EH 機械增壓泵采用獨特的液力驅動,可實現高效的動力傳送,在經濟性、性能和緊湊性方面擁有優勢。這些增壓泵適用于高壓力差的場合,這種高壓力差使增壓泵可以與前級泵同時啟動,從而減少總體抽氣時間。

EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎,仍是非常受歡迎的泵,可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。

機械增壓泵在相對較低的壓力下工作,不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下,因此高度可靠。

特點

適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3/h的高抽速的應用場合。

它可在相對較低的壓力環境下表現出更高的可靠性。

EH 泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供:

安靜的無振動運行。

牢靠且防腐蝕。

先進的軸封技術,處理艙中不會出現油污染

防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。

經驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子,并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內部和外部旁通管道及閥門,因此可將維護要求降到最低。

軸封的設計經過優化,可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要最高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外,這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端面上堆積吸入的微粒。

動態平衡的轉子和精密研磨齒輪有助于實現泵的平穩、運行噪音小,而這些特點正是先進技術設備的制造商所需要的。

應用

半導體制程

真空蒸餾

真空包裝

鋼脫氣

薄膜覆層

真空冶金

低密度風洞

空間模擬

真空浸漬

油干燥和脫氣

制藥冷凍干燥

CO2 激光

技術規格

型號
EH250
EH500
EH1200
EH2600
EH4200
抽氣量m3/h
50Hz
310
505
1195
2590
4140
60Hz
375
605
1435
3110
4985
前級泵有效泵速m3/h
E2M40
240
350
840


E2M80
274
400
840


E2M175

440
930
1750

E2M275

460
1020
1900
3100
泵上的壓差mbar
50Hz
0-180
0-110
0-90
0-120
0-70
60Hz
0-150
0-90
0-75
0-67
0-50
進出口法蘭
ISO63/ISO40
ISO100/ISO63
ISO160/ISO100
ISO160/ISO100
ISO250/ISO100
轉速rpm
50Hz

0-2900

60Hz

0-3500

額定連續進口壓力

0-1000mbar

最大出口壓力

1000mbar

建議支持泵
GV80,
E2M40,
E2M80
GV80, E2M80
GXS160,
GXS250,
E2M80,
E2M175
GXS250,
GXS450,
E2M175,
E2M275
GXS450,
E2M275
電源電壓,3-ph

220-240V / 380-415V

電機功率Kw
碳氫油

2.2

3

11

PFPE
ATEX
防爆電機

3

4

15

溫度℃
工作溫度

5至40

環境存儲溫度

-10至80

濕度

90%RH

冷卻方式

空冷

水冷

建議用油
標準

Ultragrade 20

PFPE

Fomblin YVAC 16/6

油量L
齒輪箱


1.25

3.5

耦合面

1.5

2.4

6.5

軸封油層

0.125

1.5

重量Kg

69

106

149

345

481

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