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干式螺桿真空泵

Osaka ER100D節能型干式螺桿真空泵,ER100DC抗腐蝕性氣體應用版本可選。

特點

同型號干式真空泵中的頂級節能,小型?輕量。

ER100D:適用于輕負載潔凈工藝的排氣
ER100DC:使用了耐腐蝕能力強的材料,可排腐蝕性氣體

應用

潔凈排氣

濺射裝置的排氣

分子泵等高真空泵的輔助泵

裝載室,搬送式排氣

小型實驗設備的排氣

吸附或搬送

分析

測量儀器的排氣

真空爐排氣

電子槍,離子源的排氣

技術規格

型號ER100D/ER100DC(耐腐蝕型)
排氣速度(L/min)1670
極限壓力(Pa)5
N2吹掃用氣體流量(Pa.m3/s)17-20
冷卻水用量(L)1.5-3
冷卻水溫度Max 30℃
電源電壓(V)200-240
頻率(Hz)50/60
相數三相
電源容量(KvA)3.2
功率(W)極限壓力時400
冷卻方式水冷
重量(Kg)60
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