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Flux Monitor

束流規

束流規是一種變體的裸離子計(Bayard-Alpert)。其獨特的構造可以讓電離計進一步進入真空室或工藝室,可以避免“壁效應排氣”。這種現象在經常暴露在大氣中的大室中尤其普遍,或與易于被吸附到室中的氣體一起使用。壁效誤差加起來可達2個數量級的壓力誤差。這個錯誤會對產品質量產生不利影響。長期應用在MBE的束流監測,工藝位置的真空度測量。

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