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358 Micro-Ion真空計控制器

Granville-Phillips 358系列控制器專門設計用于獲得Granville-Phillips Micro-lon真空規管的最高性能。控制器能夠測量從下限1 0-9Torr(10-9mbar,10-9Pa)至5×10-2Torr(7×10-2mbar,7 Pa)范圍內的壓力,在選配Convectron真空規管的情況下壓力測量可以延伸到大氣壓。

控制器性能可靠,結構緊湊,易于使用,鋁擠型、半機架設計便于裝配到您的控制機架上。不常使用的控件位于前面板門之后,提供二個整齊有序的外觀大尺寸、明亮綠色、無閃爍LED數字顯示器使得測量結果清晰易讀,即使有一定距離也是如此。

可以對特定系統要求來配置358系列控制器,可以使用多達6個設定點繼電器來控制各種系統功能,如切換閥、設置互鎖以及設置報警。通過使用RS-232或RS-485/422接口選項也可以集成到計算機控制的系統。


特點

結構緊湊、質量可靠、機架安裝式控制器有助于Micro-Ion規管獲得非常好的性能。

真空壓力測試低至10-9Torr范圍(10-9mbar,10-7 Pa)。

Convectron真空規選項延伸壓力測量至大氣壓。

靈活的設計便于選配設定點繼電器和數字接口。

堅固的金屬外殼抗噪音并符合CE認證。

雙燈絲增加設備的正常運行時間。

超清潔規管結構在抽氣過程中實現快速響應。

Micro-lon測量技術

Granville-Phillips Micro-lon真空規是世界上非常小的電離真空規,其壓力測量基于帶電電子與真空規管中氣體分子碰撞所產生的離子電流的量。通過多種改進,在小體積內取得了高性能。這些改進包括獲得專利的雙離子收集極設計,可以優化電子運動和離子收集。雙燈絲最大限度地減少了計劃外停機。由于有第二根燈絲做備用規管可以工作到定期維護時再更換。超清潔結構(包括所有組件的真空燒制和在潔凈度100級的潔凈室環境中的組裝)確保在真空室抽氣的過程中快速、可重復的響應。


GP358系列真空計控制器特性與優點

優化Micro-lon規管性能:控制器專門設計用于獲得Micro-lon真空規的最佳性能。通過適當的發射電流設置,Micro-lon規管的工作范圍可以涵蓋從5×10-2Torr至10 -10Torr (7×10-2至10-10mbar, 7 至 10-8 Pa)。

方便、選擇豐富的半機架控制器:機架設計節省了控制機架的空間。利用多種可選功能耒配置控制器以滿足自己的需要,這些功能包括雙Convectron真空規管讀數、處理設定點繼電器和數字接口等。鋁擠壓外殼高度抗對電氣噪聲,并且完全符合CE認證

3行數字顯示:通過明亮、便于閱讀、無閃爍、綠色LED顯示器,用戶一眼即可監控所有三讀數

Convectron選擇:在真空系統上的兩個位置提供準確而可靠的真空壓力測量,范圍為從大氣壓至10-4Torr(10-4mbar,10-2Pa)。

提高了經濟效益:模塊化設計使客戶可以僅購買所需的功能,而無需花錢購買不想要或不需要的功能。可現場更換選件板實現隨需要變化進行輕松升級。

過程控制選件:提供多達六個過程控制設定點繼電器以控制其他真空設備,井提供安全互鎖。這些數字化控制的繼電器性能穩定,調節方便。手動操控功能有助于系統設置和維護

計算機接口選擇:利用RS-232或RS-485/422接口可以輕松與計算機控制的系統進行集成。

通用電源:可在90和240伏之間的任何交流電流電壓下工作。


Micro-Ion真空規特性與優點

世界上非常小的電離規:Micro-Ion規管的體積只有不到常規玻璃管規或裸規體積的10%,可輕松安裝到復雜、排列緊湊的真空系統中。

高性能:獲得專利的雙離子收集極設計増加了電子路徑長度并提高了離子收集效率,在小體積內取得了高性能。

雙燈絲:雙耐燒氧化釔涂層銥制燈絲提供長規管壽命。有第二根燈絲做備用可以使規管工作到定期維護時再更換,可避免計劃外停機。

工作溫度更低:只有傳統玻璃管規或裸規功耗的僅8%,Micro-lon規管產生的熱輻射對工藝或實驗干擾大幅降低。

端口屏蔽:在組件或真空室保養期間保護電極組件免受損壞,并為改善測量性能提供一個穩定的電氣環境。

全金屬外殼:防止安裝過程中損壞柵極和燈絲,消除玻璃破碎的風險。

真空接口選擇范圍廣:簡化真空系統的安裝過程。

技術規格

技術規格

空氣與N2的測量范圍
(見注釋1、2)

Torr

1X10-9至5X10-2(至1000Torr,選配Convectron時)

mbar

1X10-9至7X10-2(至1300mbar,選配Convectron時)

Pa

1X10-7至7(至130Kpa,選配Convectron時)
顯示器
綠色LED,2位加指數
更新率:每0.5秒
發射電流
0.02、1、4Ma,通過選擇開關選擇
除氣
電子轟擊,4W,帶2分鐘定時器
燈絲選擇
燈絲1、燈絲2或者二者,通過選擇開關選擇
過壓保護
在出廠設置壓力上限時電離規關閉
Micro-Ion模擬輸出
1V/量級,對數,0至10V
最大Micro-Ion線纜長度
15米,標準線纜

輸入信號

燈絲開/關,除氣開/關以及選定的瞬間連續性

輸出信號

由一個單刀雙擲繼電器指示規管狀態
額定值為1A 30VDC阻抗,交流無感電
電源
100至240VAC,50~60Hz,50W最大值
重量
1.8Kg
連接器
9針D-Sub連接器
工作溫度
0至40℃環境溫度,非冷凝
非工作溫度
-40到70℃
外殼材料
型鋁
符合CE標準
CE認證
EMC指令89/336/EEC;EN50081-2;EN80082-2
低電壓指令73/23/EEC;EN61010-1
Convectron選項
兩個規管工作

模擬量輸出

1V/數量級,對數,0至7V,-7至1V可調便宜

最大電纜長度

152.4M

過程控制選件


配置

單刀雙擲(SPDT)繼電器

觸點額定值

5A 30VDC,5A 120VAC,4A 240VAC,阻抗負載
數字接口
RS485/422 ,RS232

Micro-Ion規管


對N2或空氣的靈敏度

20/Torr,15/mbar,0.15/Pa

X射線極限

<3 X 10-10Torr, <4 X 10-10mbar, <4 X 10-8Pa(見注釋3)

傳感器材料

氧化釔涂層銥絲或鎢絲(見注釋4)

暴露于氣體的其他材料

304不銹鋼,氧化鋁,kovar合金,鉭,鎢,CuAg共晶

內部容積

10.8cm3(0.66英寸3)至接口端面

規管重量

113g(帶KF16接頭)

真空規烘烤溫度

最高值200℃,非工作狀態,拆除電子設備

電纜烘烤溫度

150℃,最大值
Convectron規管

安裝位置

首選水平

傳感器材料

鍍金鎢絲

暴露于氣體的其他材料

304不銹鋼,硼硅玻璃,kovar合金,礬土,NiFe合金,聚醯亞胺

內部容積

35cm3

規管重量

85g(1/8NPT)

真空規工作溫度

0至50℃環境溫度,非冷凝

真空規烘烤溫度

最高值150℃,非工作狀態,拆除電子設備

電纜烘烤溫度

105℃,最大值

1.測量結果隨不同的氣體及混合物而有所變化在使用說明書中提供有常見氣體的校正曲線Micro-Ion規管和Convectron規管不可用于易燃易爆氣體。

2.要測量低于壓力1×10-7Torr(1×10-7mbar,1×10-5Pa),建議使用ConFIat型或VCR型真空連接。

3.X射線極限是真空計絕對最低顯示。接近X射線極限進行可重復測量不可行。

4.鎢絲用于涉及含有氟、氯的氣體或含有污染氯化釔涂層銥絲的其他氣體。一般真空應用不建議便用鎢絲,因為鎢絲暴露于高壓時有可能燒斷。

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