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GVC2200真空計控制器

GVC2200型號可同時連接使用“熱陰極電離計、對流增強型皮拉尼計”和“電容壓力計”,測量范圍為高真空(10-9Torr)至大氣壓(1000Torr)。這相當于“對流增強型皮拉尼計”和“熱陰極電離計”的連續測量范圍。另外,該控制器的設計是根據連接規的個數,按照需求的情況,可以對測量通道進行選擇。Interface端口可與外部其他機器連接,由68個獨立的設定點繼電器,4個模擬輸出,TTLIG/關功能組成。另外,利用內部設定點,在脫離對流計壓力測定范圍進入高真空時,自動打開離子計,除氣功能也可作為時間控制使用。

特點

離子真空計控制器標準尺寸,便于安裝

可以選擇測量通道

圖形LCD顯示。

6、8個Set-point供外部設備使用

離子計保護功能(自動開啟/關閉)

狀態欄可以確認SP、IG on/off等目前狀態

ATM、零點設置按鈕

技術規格

測量范圍

對流增強型皮拉尼計 : 1000Torr至8.0 x 10-4 Torr

離子計 : 1.0x10-4至1.0 x 10-9 Torr

離子計靈敏度

工廠設置:10/Torr

發射電流

0.1mA、1mA、10mA 可調 (默認設置:1mA)

收集極電壓

0V

陰極電壓

+30Vdc

柵極電壓

+180Vdc

除氣

I2R:10Vac 5amp (Max)

顯示

128 x 64 位LCD

設定點繼電器

6個,可獨立設置,SPDT (0.5 Amp @125 VAC)

設定范圍

對流計: 1000 ~ 1.0 x 10-3 Torr

離子計: 1.0 x 1.0-3  ~ 1.0 x 10-9 Torr

電壓輸出

0-10Vdc 用于2個CG、1個IG

0-10Vdc用于電容壓力計

接口

RS232C

電源

195 ~ 240VAC @50/60 Hz, 105VA (最大)

尺寸

W x H x D : 241mm x 88mm x 250mm

離子計

Bayard-Alpert(熱陰極)規管的壓力指示是基于氣體分子電離產生的連續電流。負電子由從加熱的陰極以控制良好的固定速率射出并朝著帶正電的柵極(陽極)加速運動。電子進入柵極和對地連接的收集極空間內。在這個空間內電子與真空系統中的氣體分子碰撞產生正離子。然后正離子被位于柱狀柵極中心軸處的接地的收集極收集。在固定的燈絲對柵極的電壓和電子發射電流下,壓力低于10-3Torr時正離子形成率直接與分子密度(壓力)相關。離子流的強度在經壓力單位調校的微安計上顯示出來。由于壓力的指數是線性的,熱陰極BA規管通常在壓力低于10-3Torr時被認為進行連續的壓力測量時精確的。

技術規格

測量范圍

4*10-10至10-3Torr

精度-N2(典型值)

±20%

X射線極限

4*10-10Torr

靈敏度-N2

10/Torr

電子轟擊除氣EB

最大100W

焦耳除氣I2R

10A時,6.5至7.3Vac

陰極-加熱電流

4-6A

陰極-加熱電壓

3-5V

陰極-電壓

+30Vdc

收集極電壓

0V

柵極電壓

+180Vdc

烘烤

450℃

收集極

0.01英寸直徑,鎢絲

陰極

雙鎢絲或單根銥絲

柵極

難熔金屬

全長

152mm

插入長度

外殼

Nonex 7220玻璃

安裝方向

任意,垂直優先

法蘭

3/4英寸玻璃管口和金屬管口; KF25; CF35

對流增強型皮拉尼計

CG202真空測量范圍為8.0 x 10-4 至1000 Torr。需配套GVC2200控制器使用。

技術規格

測量范圍

8.0 X 10-4至1000Torr

燈絲材質

鉑絲99.999%

安裝方式

水平安裝

工作溫度

0-50℃

最大烘烤溫度

50℃

法蘭

KF16、KF25、CF16

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