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壓力不敏感型質量流量控制器

Maru 7000 PI是壓力不敏感型質量流量控制器,高性能數字控制回路可以實時控制和診斷流量,金屬密封,通過EP拋光處理,耐腐蝕性強;壓力傳感器及控制回路的改善算法,響應速度、精度、重復性等性能提高,適用于嚴苛潔凈的半導體行業(Semiconductor)。

特點

SEMI注冊,三星電子Common SPEC

供給壓力波動時也可以穩定的控制流量

快速響應和高精度

模擬與數字通訊都支持

流量、溫度、壓力、Mac ID、通訊速度等本體顯示

MGMR功能(Multi Gas Range)

EP處理和金屬密封,抗腐蝕性能優秀

技術規格

型號Maru 7000 PI
流量范圍(N2基準)5sccm~50slm
流量控制范圍
2 ~ 100%滿量程
精度≤±1%讀數(30~100%量程)
≤±0.35%滿量程(5~35%量程)
響應速度≤1秒(≤SEMI標準)
重復性
≤0.2%滿量程
壓力不敏感≤±2%滿量程 上/下浮動5psi/秒
零點穩定性<±0.5%滿量程/年
溫度系數0.01%滿量程/℃
泄漏率<1 × 10E-11Pa·m3/秒(He)
工作壓力50-300KPa
最大工作壓力450KPa
閥門類型常閉閥
閥門關閉<1%滿量程
密封種類金屬密封
材質及拋光STS-316L,0.1uM Ra
電氣連接及信號模擬:0-5VDC或4-20mA(15針D-Sub公頭)
數字:RS485(15針D-Sub公頭)
DeviceNet協議(專用接口)
電源+15VDC~+24VDC
操作溫度操作溫度:10-50℃(推薦15~35℃)
預熱時間30分鐘(準確度保證:60分鐘)
法蘭連接1/4"LOK或VCR(根據型號)

質量流量控制器訂購參數確認單


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