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光學薄膜真空鍍膜機

非標定制設備

光學薄膜真空鍍膜機是采用電子束蒸發鍍膜方式,可蒸發各類金屬膜和氧化物,可配離子源輔助沉積,應用于眼鏡、光學鏡頭、精密光學元件、激光等各類行業,可在玻璃,塑料,陶瓷基體上鍍制各種多層薄,如:紅外膜、寬帶增透膜、分光膜、冷光膜、IR-CUT膜、干截止濾光片、偏振膜、電學膜等。

特點

采用E型電子槍輸出功率穩定,國產優質或進口。

轉動部件采用磁流體引入,長期運轉密封可靠。

工件轉動座運轉平穩可靠,可配行星工件架。

采用PLC+觸摸屏控制, 互鎖保護,可全程自動控制,包括真空系統,烘烤系統,整個蒸發鍍膜過程。

所有零部件均采用國內知名廠家或進口知名品牌,。

應用

鍍制光學膜電學膜、金屬膜、激光膜、冷光膜、分光膜、增透膜

在各種濾光片、玻璃片及塑膠(樹脂)件上鍍制增透膜、帶通膜和截止膜等各種膜系的鍍膜

主要指標

真空腔室尺寸

Φ600~Φ1300

真空系統

擴散泵(冷阱)+羅茨泵+機械泵

機械泵+羅茨泵+分子泵

機械泵+羅茨泵+低溫泵

極限真空

優于1.0×10-4Pa

真空恢復時間

大氣至4×10-3Pa15min

電子槍E型電子槍,功率10KW;可配置單槍或雙槍,多穴坩堝和環形坩堝。
電阻蒸發可選配,1~3組蒸發源

工件夾具

Φ550mm~Φ1100mm

工件烘烤溫度

室溫~350℃,PID控溫

膜厚監控系統

光學膜厚監控、Inficon SQC310或 IC6

離子源

可選配Φ12CM ~ Φ16CM的離子源

工藝氣體控制1~3只進口MFC控制

系統

PLC控制/工控機全自動控制(可選)

典型應用


各類光學鏡片鍍膜

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