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質量流量計

TSM-D200系列數字式氣體質量流量計,滿足從5mL/min~5000L/min的寬范圍氣體量程監測,同時支持傳統模擬量和RS485數字信號,滿足大部分氣體控制的通用需求,氣體通路為不銹鋼材質,適用于所有氣體或高壓環境。

特點

實時確認流量和動作狀態

響應速度快、精度高

對外部環境變化的穩定性強

可選本體顯示模塊和累計流量、及外部PID指令

技術規格

型號TSM-D210TSM-D220
TSM-D230
TSM-D240
TSM-D245
TSM-D250
TSM-D260
流量范圍(N2基準)5sccm ~ 1.5slm1.5slm~30slm30slm~100slm
100slm~400slm
400slm~1000slm
1000slm~2000slm2000slm~5000slm
流量測量范圍
2 ~ 100%滿量程
精度≤±1%滿量程≤±2%滿量程
≤±3%滿量程
響應速度≤1秒≤2秒
重復性
≤0.2%滿量程≤0.5%滿量程
密封種類Vtion,Vtion-ETP,Kalrez等等
電氣連接及信號9針D-Sub公頭
模擬:0-5VDC或4-20mA
數字:RS485
電源+15VDC~+24VDC
操作溫度操作溫度:5-50℃(推薦15~35℃)
預熱時間15分鐘(準確度保證:30分鐘)
法蘭連接1/8"~1"LOK或VCR(根據型號)25A或40A
重量0.73Kg0.75Kg1Kg1.71Kg4.5Kg5.6Kg16.9Kg

產品尺寸


質量流量控制器訂購參數確認單

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