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數字式質量流量控制器-金屬密封

VIC-W200系列金屬密封型數字式質量流量控制器(MFC),產品同時支持傳統模擬量和RS485數字信號,氣體通路及密封件采用金屬密封及聚四氟乙烯材質,適用于所有毒性氣體、腐蝕性氣體、易爆性氣體或高壓環境。

特點

全測量區間內響應速度≤1秒

金屬密封及PTFE,對有毒及腐蝕性氣體,易爆性氣體耐久性強

同時支持RS485和模擬量信號

適用浪涌和過電壓的內部電路設計

維持準確度,溫度變化不敏感

進出口可熔接,完全防止產品漏氣

技術規格

型號

VIC-W210

VIC-W220

流量范圍(N2 換算基準 )

5sccm至1.5slm

1.5slm至50slm

控制流量范圍

2 ~ 100%滿量程

準確度

≤±1%滿量程

響應時間

≤1秒(10~100%滿量程)

線性度

≤±0.2%滿量程

再現性

≤±0.2%滿量程

閥門類型

常閉閥

密封類型

金屬密封+FEP封裝O型圈

通訊方式

模擬:0-5VDC或4-20mA
 數字:RS485

總線:DeviceNet

電氣接頭

9針D-Sub公頭

電源

+15VDC至+24VDC

溫度

操作溫度:5-50℃(推薦15~35℃)

預熱時間

15分鐘(準確度保證:30分鐘)

法蘭連接

1/8"~1/2"LOK或VCR(根據型號)

產品尺寸


質量流量控制器訂購參數確認單

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